|
Установки охлаждения являются важным оборудованием при изготовлении полупроводниковой техники и незаменимы для поддерживания температуры камеры на стабильном уровне. Установки охлаждения LLC подразделяются на два типа: холодильный (компрессорный) и термоэлектрический. Все установки имеют удобный дизайн и небольшие размеры, обладают высокоточным контролем температуры, характеризуются длительным сроком эксплуатации, имеют функцию определения утечки, сенсорный экран. Их эксплуатация безопасна для окружающей среды. Холодильный (компрессорный) и термоэлектрический типы, одноканальные и двухканальные. Электромагнитный насос, цифровой ПИД контроллер. Минимальная температура: от -20 ?С, максимальная температура: до +90 ?С.
Термоэлектрический тип характеризуют небольшие размеры, высокоточный температурный контроль, возможность линейного охлаждения с помощью термоэлектрического модуля, длительный срок эксплуатации, простота эксплуатации, контроль утечки в электросети.
Холодильный тип установок – это классический компрессорный тип охлаждения, эти установки имеют широкий диапазон температур: от -20 до +80?С, характеризуются минимальными утечками, оптимальным распределением тепловой мощности и используют хладагент R-404A (без хлорфторуглеродов). |
|
Технические характеристики
| Модель |
LLC-070E |
LLС-300E |
LLC-300R |
LLC-330R |
LLC-540EX |
LLC-550R |
| Тип |
Однока-нальный термоэлек-трический |
Однока- нальный термоэлек-трический |
Одно-канальный холо-дильный |
Двух- канальный холо- дильный |
Двухка- нальный комбни- рованный |
Двухка- нальный холо- дильный |
| Размеры (ш х г х в), мм |
416 х 716 х 845 |
322 х 790 х 647 |
460 х 735 х 900 |
524х 880 х1400 |
450 х 900 х1200 |
520 х 860 х 1500 |
| Вес (кг) |
70 |
80 |
180 |
250 |
340 |
400 |
| Темпера- турный диапазон |
0-80 ?С |
0-80 ?С |
-20-80 ?С |
Каждый -20-80 ?С |
Канал 1: 0-80 ?С Канал 2: 30-90?С |
Каждый -20-80 ?С |
| Охлаж- дающая способность |
700 Вт при 20?С |
3000 Вт При 20?С |
1000 Вт при -10?С |
3000 Вт при 20?С |
4500 Вт при 20?С |
2000 Вт при -10 ?С |
| Тепловая мощность |
2000 Вт при 20 ?С |
4000 Вт при 40 ?С |
4000 Вт |
4000 Вт |
5000 Вт |
4500 Вт при 20 ?С |
| Стабиль- ность температуры |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
| Датчик темпе- ратуры |
Платиновый, 100 RTD |
| Контроллер температуры |
Цифровой PID контроллер |
| Системный контроллер |
Цифровой/ самодиагностика |
| Охлаж- дающая жидкость |
D.I |
Flourinert, Galden |
| Объем камеры, л |
4.5 |
7 |
4 |
6.5 |
10 |
4 |
| Насос |
368Вт |
1472Вт |
2208Вт |
| электромагнитный |
| Скорость потока, л/мин |
>20 |
>30 |
| Интерфейс |
Аналоговый RS-232, RS-485 |
| Использо-вание оборудо- вания |
OLED |
AMAT Centura MXP, DPS, LRC Rainbow, PTX, Excell, TEL, DRM, IPS Nano |
AMAT DPS-II, PSK |
LRC |
| Параметры подклю- чения воды для охлаждения |
Температура: 10 ?С….25 ?С, давление 4,5 кг/см ?±0,5 кг/см?, поток: 11,37 л/мин |
| Сила тока при электро- подклю- чении, А |
20 |
30 |
50 |
60 |
| Электро- подклю- чение |
220-240 В, 3 фазы, 4 провода |
|
