Производитель: Daihan Labtech
|
Теплообменник позволяет поддерживать постоянную температуру подложки кристалла полупроводника и необходим при производстве полупроводниковой техники и жидкокристаллических дисплеев. Область использования теплообменников: травление, химическое осаждение из газовой среды, производство электролюминесцентных панелей.
Теплообменники LLC-Х имеют удобный дизайн, высокоточный контроль температуры и быстрое время отклика. Управление осуществляется с передней панели, один модуль на каждый канал. Типы теплообменников: одинарные, тройные и комбинированные тройные. Температурные диапазонов: от 10 (30) до +80 (90)?С. У теплообменников LLC-Х длительный срок эксплуатации и минимизированное потребление электроэнергии. Есть функция определения утечки и контроль утечки в электросети. Модели LLC-Х оснащены сенсорным экраном. Это высоконадежные установки, а их эксплуатация безопасна для окружающей среды. |
|
Технические характеристики
| Модель |
LLC-555X |
LLC-600X |
LLC-666X |
LLC-777RX |
| Тип теплообменника |
Тройной |
Одинарный |
Тройной |
Комбини- рованный тройной |
| Размеры (ш х г х в), мм |
630х936х1602 |
450 х 900 х 900 |
630 х 936 х 1602 |
900 х 1000х 1600 |
| Вес, кг |
320 |
110 |
340 |
460 |
| Температурный диапазон |
каждый 30…+80 ?С |
30…+90 ?С |
каждый 30…+90 ?С |
первый 10…+90 ?С второй и третий 30…+90 ?С |
| Охлаждающая способность |
2000 Вт при 30 ?С |
3000 Вт при 30 ?С |
3500 Вт при 30 ?С |
7000 Вт при 10/30 ?С |
| Тепловая мощность |
5000 Вт при 30 ?С |
6000 Вт при 30 ?С |
6000 ВТ при 30 ?С |
7000 Вт при 30 ?С |
| Стабильность температуры |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
±0,1?С |
| Датчик температуры |
Платиновый, 100RTD |
| Контроллер температуры |
Прогнозируемый PID |
Цифровой PID контроллер |
| Системный контроллер |
Цифровой/ самодиагностика |
| Охлаждающая жидкость |
Flourinert, Galden |
| Насос |
1472Вт |
2208Вт |
| электромагнитный |
| Интерфейс |
Аналоговый RS-232, RS-485 |
| Использование оборудования |
TEL |
TEL, JUSUNG ENG, DMS |
TEL |
| Параметры подключения воды для охлаждения |
Температура: 10 ?С-25 ?С, давление 4,5 кг/см ?±0,5 кг/см?, поток: 11,37 л/мин |
Блок-схема: |
